טמפרטורת העבודה של תנור הדיפוזיה היא בדרך כלל מאות מעלות עד אלפי מעלות, וטמפרטורת התנור נדרשת להתחמם לזמן שצוין בתוך טווח בקרה מסוים, ועקומת תהליך הדיפוזיה היא רב-שלבית. לטמפרטורה יש השפעה מכרעת על פרמטרי התהליך של תנור הדיפוזיה, ולכן הדיוק של בקרת הטמפרטורה משפיע ישירות על איכות המוצר ומשפיע גם על יעילות הייצור של תנור הדיפוזיה.
תנור הדיפוזיה הוא בעצם תנור חימום התנגדות, ויש שני גורמים עיקריים המשפיעים על דיוק בקרת הטמפרטורה שלו. קודם כל, הצמד התרמי מבוקר הטמפרטורה של תנור הדיפוזיה משמש במשך זמן רב, שקל לייצר שגיאות; שנית, שיטות בקרת טמפרטורת תנור דיפוזיה מוסדרות בדרך כלל על ידי מכשירי כוונון אנלוגיים ודיגיטליים, או על ידי מיקרו-בקר ו-PLC לבקרת טמפרטורת תנור, אך לשיטות בקרה אלה יש כמה חסרונות מובנה שמובילים לשגיאות. על מנת להפחית את שתי השגיאות לעיל, לשפר את העקביות של פרמטרים של מכשירים אלקטרוניים ותפוקת המוצר, יש לבדוק ולכייל באופן קבוע את תנור הדיפוזיה.
הטמפרטורה הנפוצה של תנור הדיפוזיה היא בין 400 ~ 1200 מעלות, ואנו משתמשים בצמד תרמי מסוג S, המאופיינים בתכונות תרמו-אלקטריות יציבות ועמידות חמצון חזקה, יש להשתמש באטמוספרות מחמצנות או אינרטיות. על מנת להבטיח עוד יותר את דיוק נתוני המדידה, הצמד התרמי מסוג S נבדק פעם אחת לפני ואחרי השימוש, והערך הממוצע שלו נלקח לתיקון ערך מדידת טמפרטורת התנור.
בעת מדידת אורך אזור הטמפרטורה הקבועה והפרמטרים של דיוק הטמפרטורה הקבועה, מאומצת שיטת המדידה החד-פעמית של תהליך שלם, ומערכת המדידה מחוברת. לאחר שטמפרטורת התנור עולה לטמפרטורה שצוינה בתהליך והיא יציבה, קצה העבודה של הצמד התרמי נע לאורך הציר בצינור התנור כדי למדוד את ערך הטמפרטורה של כל נקודה באזור הטמפרטורה. בעת הזזת הצמד התרמי, השתמש בסרט מדידה כדי למדוד את המרחק שהצמד התרמי נע כל 10 ס"מ, והצמד התרמי אמור לנוע במהירות של פחות או שווה ל-2 ס"מ לדקה. בעת מדידת ערך הטמפרטורה, כל נקודה נמדדת למשך 5 דקות, וכל התהליך נמדד בבת אחת, והנתונים הנמדדים מבפנים אל החוץ נלקחים כבסיס ההערכה, והרשומה המקורית נרשמת.